电镀机操作说明书

发布 2019-07-27 14:53:57 阅读 9163

深圳市东升真空镀膜****。

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电镀机操作说明书。

文件编号ds-wb-pd-002版本。

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部门:生产部序号操作流程。

点检项目主材。

备注。1、先开冷却循环水开关和水泵开关。

1、冷却循环水是否正常(≥

启动电源主开1.5kg/cm2)?

关2、电压是否正常(380v)?

3、气压是否正常(4.5kg≥cm2)?1、电流是否正常?

启动扩散泵按。

2、点检扩散泵下面是否有碎布、手。

钮。套等杂物?1、油位是否正常?

启动维持泵按2、油是否干净?

钮3、马达皮带松紧是否适度以及马。

达是否有异响?

2扩散油需预热90分钟才可抽真空。

1、如果油位偏低时要及时补充新油。

2、如果油很脏要及时更换新油。

3、皮带松紧标准是用手压皮带下沉10-15mm为准。1、皮带松紧标准是用手压皮带带下沉10-15mm为准。2、油位偏低时要及时补充新油。

3、油过脏时要更换新油。认真作好记录以备参考。

真空油皮带。

1、主泵是否有异响马达皮带松紧。

是否适度?皮带真。

启动主泵按钮2、有无异味?

空油。3、油位是否正常?4、油是否干净?

1、观察粗抽转精抽切换是否正。

常?关门抽真空。

2、换向阀是否正常?3、机台各项参数、性能是否正常?

充气。1、v3关闭是否正常?2、充气时间是否过长?

1、充气时间一般小于2分钟。2、记录开门到关门的时间,以备参考。

1、以上是在半自动的状态下,从而进行以上操作流程。

备注。2、在待机状态下,要保持炉体的真空。

记号0履历新规作成。

日期承认确认作成。

2009-4-1段冬冬。

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