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第ｌ１期李刚，等：测量薄膜表面粗糙度方法的研究。

的测量有很大影响，而２０的针尖对测量的影响要小得多。

原子力显微镜针尖上施加的力一般为几ｎｎ到几十ｎｎ，比表面轮廓仪小三到四个数量级，几乎不可能对样品表面产生损伤。

情况二：图３中左面的触针由于尖端曲率半径太大，而不能够探测到样品表面尺寸表较小的凹陷区域，这显然会给测量带来误差。根据国家标准规定，触针。

结论。通过以ｔ分析，认为由于触针式表面轮廓仪的加载力比较大，在测量时可能对样品表面产生损伤。同。

针尖半径有三种尺寸显然，由于针尖太大，对于纳米级的表面缺陷，如沟槽，深坑等。

时由于触针的半径太大，对于纳米级的表面缺陷，如沟槽，深坑等影响表面粗糙度结果的形貌特征都不能够准确的表现，所以在测量这一类样品时会出现一定的。

影响表面粗糙度结果的形貌特征都不能够准确的表现。与此相比，原子力显微镜的探针针尖半径一般为２０以下，图４比较了在针尖半径分别为２０和２００的两种情况下，探测相同的沟槽深度所必需的沟槽宽度。可以看出，半径２００的针尖，对沟槽。

误差。而原子力显微镜可以同时比较好的解决这两种问题，在测量纳米级平整的薄膜表面粗糙度时具有一定的优势。参考文献：

１］徐长山．表面轮廓仪传递函数对超光滑表面粗糙度测量的影响。

ｊ］光学精密工程。

２］张立德，牟季美．纳米材料学［ｍ］宁科学技术出版社，１９白春礼．纳米科技及其发展前景［ｊ］微纳电子技术表面粗糙度参数及冀数值［ｓ］

表面粗糙度比较样块抛光加ｔ表面【ｓｊ陈英飞，等．原子力显微镜在纳米粗糙度测量中的应用［ｊ］光学。

仪器。触针式表面粗糙度测量仪校准规范ｌｓ］

产品几何晕技术规范（ｇｐ表面结构轮廓法接。

图４不同针尖半径对于粗糙度测量的影响。

触（触针）式仪器的标称特征『ｓ］

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