单晶巡检岗位试卷答案B

发布 2023-12-27 03:55:09 阅读 7569

一、 填空题(共60分每空1.5分)

1、装料时巡检应检查员工是否穿(洁净服)﹑戴(洁净手套)﹑戴(防尘口罩)。

2、单晶晶棒氧含量分布情况是头(高 )尾( 低 ),碳含量分布情况是头

低 )尾( 高 ),少子分布情况头( 高 )尾( 低 ),电阻率分布情况头。

高 )尾( 低 )。

3、停炉是要求晶转( 5)rpm/min,晶升(1)mm/min,埚转(2)rpm/min,最后一段晶棒冷却时间为( 6 )h。

4、热场安装时,石墨坩埚安装完毕后保持( 水平),(对中),各个交接出密合无(凸起)、(晃动),处于同一曲面。

5、热场安装时,需将中保温筒的测温孔调整到与(炉筒)测温仪相对的为止。

5、开炉前,按工艺要求检查( 水 )、电 )、气 ),确认无误后方可开炉。

7、在装料作业完毕时,认真检查硅料是否与( 热屏 )下沿接触。

9、化料后确定功率比上炉引晶功率高(5-10)kw,防止在化料后温度过高造成(跳硅)。

10、装料时石英坩埚2/3以下部分硅料与石英坩埚( 面 )接触,2/3以上部分硅料与石英坩埚(点)接触。

11、开始引晶前需对籽晶进行烤晶:下降籽晶与液面距离(10-20)mm处,稳定(10-20)min后将籽晶插入液面中。

9、单晶引晶长度要求6寸与6.5寸(≧150)mm,8寸(≧200)mm,9吋(≧220)mm;引晶直径要求在(3-5)mm。

10、化料时热屏下沿距原料最高点距离报纸在(25±5)mm,防止塌料溅硅。

12、单晶晶棒收尾长度要求:6寸(≧120)mm,6.5寸(≧130)mm,8吋(≧160)mm,9吋(≧180)mm,尖端直径要求(﹤3)mm。

三、 简答题:(每小题:10分;共40分)

1、 简述单晶炉操作工艺流程。

装料——抽空检漏——化料——挥发——引晶——放肩——等径——收尾——停炉——拆装炉。

2、 安装热场时,应注意当些事项?

1.安装电极时检查接触面是否平整,上下接触面要放一层石墨纸,并拧紧石墨螺丝,盖上石墨螺丝盖防止热场打火。

2.中保温罩卡口接到位。并校正与加热器的间距,要均匀一致。

3.炉筒降到位后,校对测温孔,防止测光信号过小无法温度自控。

4.拧紧埚杆螺丝,防止因松动造成液面晃动。

5. 装好后要打开埚转旋转一下,以检验三瓣埚与加热器间距是否一致。若不一致,需及时调整。

6.安装时要确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合,要认真、细心,防止碰坏保温材料或加热器。

3、我司质量方针是什么?

客户至上,诚信经营。质量为本,持续改善。

4、请简述单晶巡检的首要职责(限30字)?

确保生产过程符合工艺要求,制止任何可能导致产品缺陷的现象和行为。

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